国内生产蚀刻机的上市公司主要是中微公司和北方华创这两家。

1.中微公司：代码是688012，公司全称为中微半导体设备(上海)股份有限公司，业务中包含深硅刻蚀设备的研发与生产销售；

2.北方华创：代码为002371，公司全称为：北方华创科技集团股份有限公司，是国产蚀刻机的生产厂家。